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发明名称 PRODUCTION METHOD FOR BONDED SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1381086(A4) 申请公布日期 2009.12.16
申请号 EP20020714551 申请日期 2002.04.09
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 YOKOKAWA, ISAO;NAKANO, MASATAKE;MITANI, KIYOSHI
分类号 B08B3/04;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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