安装装置及安装负荷修正方法

摘要

提高了由吸附嘴把电子部件安装到基板上时的负荷精度。在把被装载于在XY方向移动的吸附头上的吸附嘴(10)吸附保持的电子部件安装到固定于规定位置的基板上的安装装置中，在所述吸附头可移动的范围内设置对于在Z方向上使所述吸附嘴(10)下降而使其吸附端部接触时的负荷进行测量的测力传感器(28)，在该测力传感器上，进行与安装时相同的吸附嘴动作而预先测量负荷，从而可以对安装时设定的负荷进行修正。

主权项

1.一种安装装置，具有在XY方向的规定移动范围内移动的吸附头和以可上下移动的方式装载于该吸附头上的吸附嘴，一边降低所述吸附嘴而施加规定的负荷，一边把吸附保持在所述吸附嘴上的电子部件安装到基板上，所述安装装置在所述吸附头的所述规定移动范围内设置了负荷测量单元，该负荷测量单元具有对于使所述吸附嘴下降而使其与吸附端部接触时的负荷进行测量的测力传感器，其特征在于，所述测力传感器把测量面调整到与安装时的基板上表面相同的高度。