发明名称 具有双外延沟道和自对准接点的CMOS器件
摘要 一种具有双外延沟道的CMOS器件,其包括形成在衬底上的第一外延区域,形成在该第一外延区域上的PMOS器件,形成在衬底上的第二外延区域,其中该第二外延区域由不同于该第一外延区域的材料形成,形成在该第二外延区域上的NMOS器件,以及耦合于PMOS器件和NMOS器件的电接点,其中该电接点是自对准的。
申请公布号 CN101606240A 申请公布日期 2009.12.16
申请号 CN200880001497.1 申请日期 2008.03.14
申请人 英特尔公司 发明人 P·拉纳德;K·E·扎瓦奇基
分类号 H01L21/8238(2006.01)I;H01L21/335(2006.01)I;H01L27/092(2006.01)I 主分类号 H01L21/8238(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 朱海煜;王丹昕
主权项 1、一种CMOS器件,包括:第一外延区域;形成在所述第一外延区域上的PMOS器件;第二外延区域,其中所述第二外延区域由不同于所述第一外延区域的材料形成;形成在所述第二外延区域上的NMOS器件;以及耦合于所述PMOS器件和NMOS器件的电接点,其中所述电接点是自对准的。
地址 美国加利福尼亚州