发明名称 |
具有双外延沟道和自对准接点的CMOS器件 |
摘要 |
一种具有双外延沟道的CMOS器件,其包括形成在衬底上的第一外延区域,形成在该第一外延区域上的PMOS器件,形成在衬底上的第二外延区域,其中该第二外延区域由不同于该第一外延区域的材料形成,形成在该第二外延区域上的NMOS器件,以及耦合于PMOS器件和NMOS器件的电接点,其中该电接点是自对准的。 |
申请公布号 |
CN101606240A |
申请公布日期 |
2009.12.16 |
申请号 |
CN200880001497.1 |
申请日期 |
2008.03.14 |
申请人 |
英特尔公司 |
发明人 |
P·拉纳德;K·E·扎瓦奇基 |
分类号 |
H01L21/8238(2006.01)I;H01L21/335(2006.01)I;H01L27/092(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/8238(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
朱海煜;王丹昕 |
主权项 |
1、一种CMOS器件,包括:第一外延区域;形成在所述第一外延区域上的PMOS器件;第二外延区域,其中所述第二外延区域由不同于所述第一外延区域的材料形成;形成在所述第二外延区域上的NMOS器件;以及耦合于所述PMOS器件和NMOS器件的电接点,其中所述电接点是自对准的。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |