含缩醛及缩酮作为溶剂之光阻组合物

摘要

揭示一种光阻组合物，其包含：a)至少一种膜形成树脂，其系选自由酚醛树脂及多羟苯乙烯组成的群组；b)至少一种光活性化合物或光酸产生物；及c)一种溶剂组合物，其包含至少一种选自由缩醛及缩酮组成的群组之溶剂。亦揭示一种包含有聚碳酸酯树脂及溶剂组合物之光阻组合物，该溶剂组合物包含至少一种选自由缩醛及缩酮组成的群组之溶剂。亦揭示一种用于使光阻组合物显像之方法，其包含下列步骤：a)涂布任何一种前述的光阻组合物于适合的基材；b)烘烤基材至几乎完全移除溶剂；c)以显像方式辐射光阻膜；及d)用适合的显影剂移除经涂布基材之以显像方式曝光，或者，未曝光区。

主权项

一种光阻组合物，其包含：a)至少一种膜形成树脂，其系选自由酚醛树脂及多羟苯乙烯组成的群组；b)至少一种光活性化合物或光酸产生物；及c)一种包含至少一种光阻溶剂及至少一种选自由缩醛及缩酮所组成之群组之溶剂之溶剂组合物，其中，以该光阻组合物之总重计，该选自由缩醛及缩酮所组成之群组之溶剂之量系约6.4%至约15%。