电浆处理装置

摘要

本发明提供一种大气压电浆处理装置，可对应被处理物之大面积化，并且可确保正规放电处理开始处之处理的良好性。本发明系使大气压电浆处理装置之平台20之第1平台部21之第1金属表面21a露出，并设置介电质制被处理物W。于第1平台部21之周缘设置第2平台部22。于该第2平台部22之第2金属24上设置固体介电层25，于该固体介电层25之内侧介电部26设置被处理物W之周缘部。电极11于第2平台部22上之第2移动范围R2内形成先行放电D2，之后向第1平台部21上之第1移动范围R1移动，形成正规之电浆放电D1。

主权项

一种电浆处理装置，其系将以介电质为主要成分之被处理物曝露于大气压附近之电浆放电中而进行表面处理者，其特征在于具备：平台，其包含第1平台部与第2平台部，且于上述第1平台部之第1金属表面上，以使周缘部向上述第2平台部之侧突出之方式设置上述被处理物，其中上述第1平台部具有露出之第1金属表面，上述第2平台部具有由固体介电层所被覆之第2金属表面并设置于上述第1平台部之外周部；及电极，其相对于上述平台，而于包含第1移动范围与第2移动范围之范围内相对移动，其中上述第1移动范围系与上述第1平台部对向并形成上述电浆放电者，上述第2移动范围系与上述第2平台部对向者。