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发明名称 Method for reforming insulating film.
摘要
申请公布号 EP0653782(A3) 申请公布日期 1996.04.24
申请号 EP19940117441 申请日期 1994.11.04
申请人 CANON SALES CO., INC.;ALCAN-TECH CO., INC.;SEMICONDUCTOR PROCESS LABORATORY CO., LTD. 发明人 MAEDA, KAZUO;YUYUMA, YOSHIAKI;TOKUMASU,NOBORU
分类号 H01L21/31;C23C16/40;C23D13/00;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/310;B05D3/00;C03B33/02 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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