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发明名称 REMOTE PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10163185(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19970315458 申请日期 1997.11.17
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 KEVIN FEABEAN;HALLEY PONNECANTI;DAVID CHUUNG;TSUTOMU TANAKA;MUKURU KERUKAA
分类号 C23C14/56;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/306 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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