| 摘要 |
<p>【課題】プラズマ処理中のウエハーの均熱性を高めるウエハー載置装置を提供する。【解決手段】リングヒーター４２が冷却板３０と離間しているため、冷却板３０とリングヒーター４２との間の熱伝導が防止される。また、リングヒーター４２と冷却板３０との間に冷却板側３０から第１樹脂シール層４０ａ，リング状部材４１，第２樹脂シール層４０ｂがこの順で積層されるとともに、第１樹脂シール層４０ａ及び第２樹脂シール層４０ｂの熱伝導率が冷却板３０，リング状部材４１及びリングヒーター４２と比べて低くなっている。このため、リングヒーター４２とリング状部材４１との間の熱伝導よりもリングヒータ４２内での熱伝導の方が起こりやすくなり、リングヒーター４２の温度分布がより均一化される。以上により、リングヒーター４２の温度が安定化すなわちウエハーＷ外周部の温度が安定化して、ウエハーＷの均熱性が高まる。【選択図】図２</p> |
