| 发明名称 | 具有垂直铰链结构的微镜面器件 | ||
| 摘要 | 一个镜面器件包括：衬底上的许多电极；与至少一个电极相连的铰链；与至少和一个电极相关的铰链相接触的镜面，其中铰链和镜面间和/或铰链和电极间有一阻挡层。另外，还有一种制造这种镜面器件的器件制作方法。此外，还有由这种镜面器件组成的投影装置。 | ||
| 申请公布号 | CN101595415A | 申请公布日期 | 2009.12.02 |
| 申请号 | CN200780040211.6 | 申请日期 | 2007.08.19 |
| 申请人 | 硅索株式会社 | 发明人 | 杉本直也;前田义浩;市川博敏 |
| 分类号 | G02B26/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B26/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天平专利商标代理有限公司 | 代理人 | 孙 刚 |
| 主权项 | 1.镜面器件，包括：衬底上的许多电极；与至少一个电极相连，沿所述衬底垂直向外方向的铰链；上述铰链支撑顶部沿水平方向放置的镜面，电极附近上述铰链剖面积小于或等于镜面附近上述铰链的剖面积。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||