漏光型角扇形复振幅光瞳滤波器

摘要

漏光型角扇形复振幅光瞳滤波器属于衍射光学及光学成像技术领域；它是由一组中心遮挡的具有不同振幅透过率和相位浮雕深度的扇形沿圆周方向旋转组成，且每间隔π/2的小扇形结构参数相同，由此4个结构相同的呈‘十’字的小扇形组成1个角扇形，中心遮挡圆归一化半径ε满足0≤ε≤0.5；在0～π/2之间，当πk/2N≤θ＜π(k+1)/2N时，第k个角扇形的振幅透过率A_k满足0.9≤A_k≤1，位相函数沿径向满足Φ_k＝θ_kρ²/2+Q_k，径向归一化坐标ρ满足ε≤ρ≤1，k＝0，1，2，…，N-1；本发明实现了轴向平顶光强分布以及焦深的任意扩展，同时具有更强的横向超分辨能力以及简化滤波器中心区域加工的特点。

主权项

1、一种漏光型角十字扇形复振幅光瞳滤波器，其特征在于该滤波器由一组中心遮挡的具有不同振幅透过率和相位浮雕深度的扇形沿圆周方向旋转组成，且每间隔π/2的小扇形结构参数相同，由此4个结构相同的小扇形组成1个角十字扇形，中心遮挡圆归一化半径ε满足0≤ε≤0.5；在0～π/2之间，当πk/2N≤θ＜π(k+1)/2N时，第k个角十字扇形的振幅透过率A_k满足0.9≤A_k≤1，位相函数沿径向满足φ_k＝θ_kρ²/2+Q_k，k＝0，1，2，…，N-1，其中ρ是径向归一化坐标，满足ε≤ρ≤1，θ是极角坐标，N是滤波器包含角十字扇形的个数；所述位相函数φ_k中所包含参数满足${\theta }_k=\frac{4\mathrm{\eta \pi }}{1-{ϵ}^2}(k-\frac{N-1}{2})$以及$Q_k=-\frac{{\theta }_k(1+{ϵ}^2)}{4}=\mathrm{\eta \pi }\frac{1+{ϵ}^2}{1-{ϵ}^2}(\frac{N-1}{2}-k),$位移因子η的取值范围应满足0≤η≤2；滤波器参数N为不小于2的整数。