| 发明名称 |
SYSTEM AND METHOD FOR SUPPORTING FINDING OF DEFECT IN OBJECT TO BE INSPECTED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110067020(A) |
申请公布日期 |
2011.06.20 |
| 申请号 |
KR20117006289 |
申请日期 |
2009.08.03 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
OKADA MASAKUNI;DOI MUNEHIRO;MORI YUMI;UEYAMA SHINSUKE |
| 分类号 |
G01N21/956;G01M11/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/956 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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