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发明名称
摘要
申请公布号	JP4378267(B2)	申请公布日期	2009.12.02
申请号	JP20040353618	申请日期	2004.12.07
申请人		发明人
分类号	H01L21/334;H01L29/786;H01L21/336;H01L29/41;H01L29/423;H01L29/49	主分类号	H01L21/334
代理机构		代理人
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