| 发明名称 | 水平式探针卡的探针 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种水平式探针卡(cantilevel probe card，环氧树脂环探针卡)的探针，本发明的技术手段主要是：在水平式探针卡的探针针尖处约5～10密耳的表面上，镀上纳米镀膜厚度为1～20纳米的高导电性高分子材料，经由这种镀膜过程，本发明的水平式探针的纳米镀膜可以有效地使探针具备不沾粘、高导电性、降低接触力、延长寿命的优良品质，因此可以提升晶圆测试良率，降低探针清洁的频率，并且降低整体测试成本。 | ||
| 申请公布号 | CN101592682A | 申请公布日期 | 2009.12.02 |
| 申请号 | CN200810109529.1 | 申请日期 | 2008.05.27 |
| 申请人 | 祐邦科技股份有限公司 | 发明人 | 陈彬龙;陈皇志 |
| 分类号 | G01R1/073(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I | 主分类号 | G01R1/073(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海翼胜专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 翟 羽 |
| 主权项 | 1.一种水平式探针卡的探针，其特征在于：所述的水平式探针卡包括：多数个探针及导电高分子纳米镀膜，其中这些探针为金属材料，装置于所述的水平式探针卡上；导电高分子纳米镀膜是镀于这些探针上。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市光复路二段289号13楼之2 | ||