对塑料容器内面形成碳膜的装置及塑料容器的制造方法

摘要

一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法，其包括：有底筒状外部电极，其具有在插入作为被处理物的塑料容器时，包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小；衬套，其由电介质材料构成，在插入了所述容器时，至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间；排气管，其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面；内部电极，其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内，其插入深度为所述容器的纵向的大致全长，并与接地侧连接，同时，穿设有用于排出介质气体的排气孔；排气装置，其被安装在所述排气管上；气体供给装置，其用于向所述内部电极供给介质气体；高频电源，其被连接在所述外部电极。

主权项

1、一种对塑料容器内面形成屏蔽膜的装置，其具有：外部电极，其由外部电极主体和外部电极底部件构成，与高频电源连接，并具有将塑料容器插入时包围该容器的大小；排气管，其与所述外部电极连通；内部电极，其被插入到所述容器内，在所述外部电极与所述内部电极之间，在从该内部电极供给的介质气体存在的情况下生成等离子而在所述容器内面形成屏蔽性优良的膜，其中，设有筒状的支撑部件，该支撑部件在上下端具有凸缘，其上部凸缘固定在所述排气管上，其下部凸缘位于基台上，所述外部电极配置在由所述基台和所述支撑部件围成的空间中，将其外部电极主体经由绝缘部件悬吊并固定在所述排气管上，并且将其外部电极底部件经由绝缘体载置在所述基台上，在装卸所述塑料容器时，所述支撑部件的下部凸缘通过利用推杆使所述基台、所述绝缘体及所述外部电极底部件一体地上下移动来进行开闭，同时，对配置于所述支撑部件内的所述外部电极主体的底进行开闭。