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发明名称 基板保持环
摘要
申请公布号 TWD132340 申请公布日期 2009.12.01
申请号 TW097303127 申请日期 2008.05.29
申请人 荏原制作所股份有限公司 发明人 锅谷治;户川哲二;安田穗积;斋藤康二;福岛诚;井上智视
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本
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