| 摘要 |
Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Beschleunigungssensor mit einem Substrat (100), mit einer Aufhängung (50), mit einer seismischen Masse (9) und mit feststehenden kapazitiven Elektroden (7, 71, 72). Dabei ist die seismische Masse (9) mittels der Aufhängung (50) über dem Substrat (100) aufgehängt. Die seismische Masse (9) weist einen Masseschwerpunkt (10) auf, und die Aufhängung (50) weist wenigstens zwei Verankerungen (41 und 42) an dem Substrat (100) auf, wobei die wenigstens zwei Verankerungen (41 und 42) neben dem Masseschwerpunkt (10) angeordnet sind, mit einem Abstand, der klein ist im Verhältnis zu einer horizontalen Ausdehnung (30) der seismischen Masse (9). Die feststehenden kapazitiven Elektroden (7, 71, 72) sind in Ausnehmungen (20) der seismischen Masse (9) vorgesehen. Der Kern der Erfindung besteht darin, daß die seismische Masse (9) unmittelbar die Aufhängung (50) umgreift. |
