METHOD AND DEVICE FOR THREE-DIMENSIONALLY DETERMINING THE REFRACTIVE INDEX OF TRANSPARENT OR PARTIALLY TRANSPARENT LAYERS

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein verfahren sowie eine Vorrichtung zur dreidimensionalen Bestimmung des Brechungsindex und gegebenenfalls der Schichtdicke von transparenten oder teiltransparenten Schichten, bei denen die Schicht (1) unter verschiedenen Einfallswinkeln (5) mit polarisiertem Licht durchstrahlt und Änderungen der Polarisation des Lichtes beim Durchgang durch die Schicht (1) gemessen und ausgewertet werden. Das Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass die Messung durch ein Immersionsmedium (3) hindurch erfolgt, zwischen das die Schicht (1) eingebracht wird. Mit dem vorliegenden Verfahren wird eine hochgenaue Bestimmung des Brechungsindex anisotroper dünner Schichten in allen drei Raumrichtungen ermöglicht.