液晶显示装置基板之制造方法

摘要

本发明系有关于一种液晶显示装置基板之制造方法，尤指一种适用于兼具彩色滤光膜之液晶显示装置薄膜电晶体阵列基板之制造方法。本发明之方法主要是利用感光性绝缘层(photosensitive insulating layer)作为薄膜电晶体的保护层或平坦层，来达到减少光罩数或制程的功效。此感光性绝缘层具有像光阻一般显影的能力，并且可保护薄膜电晶体不受空气中水气和氧气的影响。此外，本发明还可以藉由喷墨形成彩色滤光膜或半色调光罩的技术来进一步减少光罩数或制程。

主权项

一种液晶显示装置基板之制造方法，包括下列步骤：(A)提供一基板；(B)于该基板上形成复数个具有一闸极、一源极、以及一汲极之电晶体，其中该闸极位于该基板之表面，该闸极与该源极及该汲极间夹置有至少一半导体层以及一闸极绝缘层，该汲极及该源极间不电性连接；(C)于该基板上依序形成一第一感光性绝缘层以及一遮光层，且该第一感光性绝缘层以及该遮光层为同型光阻；(D)图案化该第一感光性绝缘层以及该遮光层，其中该第一感光性绝缘层与该遮光层具有相同图案且覆盖该电晶体；(E)于该基板上依序形成一第二感光性绝缘层以及一具颜色之滤光层，且该第二感光性绝缘层以及该滤光层为同型光阻；(F)图案化该第二感光性绝缘层以及该滤光层，同时形成一第一接触孔于该汲极上，其中该第一接触孔穿透该第二感光性绝缘层与该滤光层，以暴露部分该汲极；(G)选择性重复步骤(E)和(F)；以及(H)于该基板上形成一图案化透明电极层，且该图案化透明电极层与该汲极电性连接。