具有一个或者更多个可限定层的层式阻挡物结构和方法

摘要

本发明提供了一种系统，所述系统提供了环境阻挡物，也对提供电路有用，例如，具有薄膜电池的电路，例如包括连接到电路的锂或者锂化合物的电路。环境阻挡物作为交替层沉积，至少所述层之一提供平滑、平面化和/或者平整物理配置功能，至少一个另外的层提供扩散阻挡功能。提供物理配置功能的层可以包括光刻胶、光可限定、能量可限定和/或者可掩模的层。物理配置层也可以是电介质。包括多对层的层式结构可以被用于将气体渗透速率减小到超出当前可检测的水平，每对包括物理配置层和具有低气体渗透速率的阻挡层。

主权项

1.一种设备，所述设备包括：衬底；连接到衬底的第一器件；和层式阻挡物结构，所述层式阻挡物结构密封第一器件，其中所述层式阻挡物结构包括具有可限定的横向范围的第一物理配置层，其中所述层式阻挡物结构也包括第一阻挡层。