| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Schichtdickenmessung und Meßsonde für eine kombinierte Schichtdickenmeßvorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE4333419(C5) |
申请公布日期 |
2009.11.19 |
| 申请号 |
DE19934333419 |
申请日期 |
1993.09.30 |
| 申请人 |
DEFELSKO CORP. |
发明人 |
KOCH, FRANK J.;VANDERVALK, LEON C.;BEAMISH, DAVID J. |
| 分类号 |
G01B7/00;G01B7/06;G01D3/028;G01D5/20;G01K13/00;G01N27/72;G01R33/12 |
主分类号 |
G01B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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