图像传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种图像传感器及其制造方法。在本发明中，图像传感器包括：半导体衬底，具有光检测器；以及微透镜阵列，包括多个透镜，用于将从外界入射的光导向该光检测器，其中，该微透镜阵列包括干膜抗蚀剂材料。该干膜抗蚀剂材料包括玻璃转变温度大约为100℃或更低且分子量大约为10000或更小的聚合物。

主权项

1.一种制造图像传感器的方法，包括以下步骤：形成光电二极管；在该光电二极管上形成保护层；在该保护层上形成滤色镜；在该滤色镜上方形成上涂材料层；在该上涂材料层上粘附固态光致抗蚀剂膜；在从该光电二极管的中心部分到边缘部分逐渐增加光量的同时，对该固态光致抗蚀剂膜进行曝光处理；以及对该光致抗蚀剂膜进行显影，以在该滤色镜上形成基本为球形的微透镜。