温度受控的MEMS共振器以及控制共振器频率的方法

摘要

这里描述和示出了很多发明。在一个方面，本发明涉及温度补偿的微机电共振器以及制造、生产、提供和/或控制具有一种机械结构的微机电共振器，所述机械结构包括集成的加热和/或温度传感元件。在另一个方面，本发明涉及制造、生产、提供和/或控制具有一种机械结构的微机电共振器，所述机械结构利用薄膜或晶片级封装技术封装在腔室内并且包括布置在腔室内、腔室上和/或集成在机械结构内的加热和/或温度传感元件。从这里的详细描述和权利要求中本发明的其它方面将会很明显。

主权项

1.一种MEMS共振器，其共振频率被相关于工作温度限定，所述MEMS共振器包括：包括第一电触点的第一基片锚定部；包括第二电触点的第二基片锚定部；布置在第一和第二基片锚定部之间并且电结合至第一和第二电触点的可动梁结构；和电源，其结合至第一和第二电触点以便为可动梁结构提供电流，从而加热可动梁结构以在MEMS共振器工作时将可动梁结构的温度保持在预定的温度范围内。