湿法蚀刻装置

摘要

本发明公开了一种湿法蚀刻装置，包括用以输送蚀刻混合液的循环泵和用以补充蚀刻反应化学品的补给泵，还包括联动控制系统，根据湿法蚀刻装置系统的提示控制循环泵关闭时，关闭补给泵。本发明湿法蚀刻装置通过联动控制系统控制循环泵和补给泵，从而当系统发现蚀刻装置出现故障停止循环泵工作时，补给泵也停止工作，避免造成晶圆损坏。

主权项

1.一种湿法蚀刻装置，包括用以输送蚀刻混合液的循环泵和用以补充蚀刻反应化学品的补给泵，其特征在于，还包括联动控制系统，根据湿法蚀刻装置系统的提示控制循环泵关闭时，关闭补给泵，所述联动控制系统包括，补给泵控制装置，根据机台控制模块的控制信号开启或关闭，并在开启时接收联动装置传送的电压信号发送给补给泵来启动补给泵；循环泵控制装置，根据机台控制模块的控制信号开启或关闭，并在开启时接收恒压源发送的电压信号发送给循环泵来启动循环泵；联动装置，与循环泵控制装置并联于机台控制模块，根据机台控制模块的控制信号开启或关闭，并在开启时接收恒压源发送的电压信号向补给泵控制装置传送；恒压源，用于向循环泵控制装置和联动装置提供启动循环泵和补给泵的电压信号；机台控制模块，根据湿法蚀刻装置系统的提示发送控制信号来控制补给泵控制装置、循环泵控制装置和联动装置开启或关闭。