基于公式的制程间控制

摘要

本发明提供了一种处理衬底的方法，包括：接收处理前数据，所述处理前数据包括所述衬底的期望处理结果和实际测量数据；确定所需处理结果，所述所需处理结果包括所述期望处理结果和所述实际测量数据之间的差别；通过使用静态配方和公式模型中的至少一个修改从处理工具获得的名义配方来创建新处理配方，其中所述新处理配方提供了近似等于所述所需处理结果的新处理结果；以及发送所述新处理配方到所述处理工具并处理所述衬底。

主权项

1.一种处理衬底的方法，包括：接收处理前数据，所述处理前数据包括所述衬底的期望处理结果和实际测量数据；确定所需处理结果，所述所需处理结果包括所述期望处理结果和所述实际测量数据之间的差别；通过使用静态配方和公式模型中的至少一个修改从处理工具获得的名义配方来创建新处理配方，其中：所述新处理配方提供了近似等于所述所需处理结果的新处理结果，所述名义配方包括多个处理步骤，每个步骤具有多个在其中定义的处理参数，所述静态配方包括至少一个常数值，以便进一步定义至少一个所述处理步骤中的至少一个所述处理参数，并且所述公式模型包括至少一个动态变量，以便进一步定义至少一个所述处理步骤中的至少一个所述处理参数；发送所述新处理配方到所述处理工具；基于所述新处理配方处理所述衬底；使用N次方程$y=\underset{0}{\overset{N}{\Sigma }}{A}_n{x}^n$来创建所述公式模型，其中x是动态变量，y是所述所需处理结果，N＞＝1，A_n包括具有正值、负值和零值中的至少一个的常数，并且n是大于等于0的整数；求解所述N次方程以确定所述动态变量的值；以及通过在至少一个所述处理步骤中包括所确定的值来修改所述名义配方；使用第一N次方程$y\left(1\right)=\underset{0}{\overset{N}{\Sigma }}A{\left(1\right)}_{n}x{\left(1\right)}^n$来创建第一公式模型分量，其中所述第一公式模型分量被用于第一处理辖区，其中x(1)是所述第一处理辖区中的动态变量，y是所述第一处理辖区中的所需处理结果，N＞＝1，A(1)_n包括具有正值、负值和零值中的至少一个的常数，并且n是大于等于0的整数；使用第二N次方程$y\left(2\right)=\underset{0}{\overset{N}{\Sigma }}A{\left(2\right)}_{n}x{\left(2\right)}^n$来创建第二公式模型分量，其中所述第二公式模型分量被用于第二处理辖区，其中x(2)是所述第二处理辖区中的动态变量，y是所述第二处理辖区中的所需处理结果，N＞＝1，A(2)_n包括具有正值、负值和零值中的至少一个的常数，并且n是大于等于0的整数；求解所述第一N次方程以确定所述第一处理辖区中的动态变量的值；通过在至少一个所述处理步骤中包括所确定的所述第一处理辖区中的动态变量的值来修改所述名义配方；求解所述第二N次方程以确定所述第二处理辖区中的动态变量的值；以及通过在至少一个所述处理步骤中包括所确定的所述第二处理辖区中的动态变量的值来修改所述名义配方。