| 发明名称 | 生产非晶硅薄膜太阳能电池用激光刻膜机 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种激光设备。本实用新型公开了一种生产非晶硅薄膜太阳能电池用激光刻膜机，包括用于刻划非晶硅薄膜的激光器系统、计算机系统、四光路分光装置、聚焦装置、二维运动工作台，所述计算机系统分别与激光器系统、四光路分光装置、二维运动工作台连接，激光器系统输出的激光通过四光路分光装置、聚焦装置作用在二维运动工作台上的工件上。本实用新型具有精度高、速度快、效率高的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN201349017Y | 申请公布日期 | 2009.11.18 |
| 申请号 | CN200820241126.8 | 申请日期 | 2008.12.30 |
| 申请人 | 武汉楚天激光(集团)股份有限公司 | 发明人 | 徐爱忠;叶青;付斌;孙文 |
| 分类号 | H01L31/20(2006.01)I;B23K26/36(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1、一种生产非晶硅薄膜太阳能电池用激光刻膜机，其特征在于：包括用于刻划非晶硅薄膜的激光器系统、计算机系统、四光路分光装置、聚焦装置、二维运动工作台，所述计算机系统分别与激光器系统、四光路分光装置、二维运动工作台连接，激光器系统输出的激光通过四光路分光装置、聚焦装置作用在二维运动工作台上的工件上。 | ||
| 地址 | 430074湖北省武汉市东湖高新技术开发区关山二路楚天激光科技楼 | ||