| 摘要 |
기판 유지 장치는, 기판 (W) 을 흡착 유지하는 기판 홀더 (WH) 와, 기판의 이면을 흡착하는 흡착부를 일단에 갖고, 그 흡착부에서 기판 (W) 의 이면을 흡착한 상태로, 기판 홀더 (WH) 에 대해 상대적으로 이동 가능한 복수의 상하동 핀 유닛 (34, 34, 34) 을 구비하고 있다. 복수의 상하동 핀 유닛 (34, 34, 34) 은, 상기 흡착부를 포함하는 적어도 일부가 상기 흡착한 기판 (W) 으로부터 받는 힘의 작용에 의해 적어도 일 방향으로 변위한다. |
