太陽電池内の金属構造の形成

摘要

誘電体層（２１１）上に形成された電気めっきシードを使用して、銅を電気めっきすることによって、太陽電池の金属コンタクトが形成される。電気めっきシードは、誘電体層内のコンタクトホールを介して太陽電池の拡散領域に接続するアルミニウム層を含む。アルミニウム層上にニッケル層が形成され、ニッケル層とアルミニウム層のスタックが、電気めっきシード（２１２）を形成する。銅は、支持電解質（２１３）として硫酸の代わりにメタンスルホン酸を含む銅めっき槽内で電気めっきされる。