摘要 |
Equipo óptico de medición de la posición, compuesto por - una escala con una graduación de escala con marcas de graduación de escala, que se disponen periódicamente en una dirección de medición (x) con un periodo de graduación de escala (TPM), - una unidad de exploración móvil con respecto a la escala en al menos una dirección de medición (x) con - una fuente de luz - al menos una graduación de exploración periódica compuesta por marcas de graduación de exploración, que se disponen periódicamente a lo largo de la dirección de medición (x) con un periodo de graduación de exploración TPA, donde el periodo de graduación de escala TPM y el periodo de graduación de exploración TPA se diferencian entre sí y - un dispositivo de detección, mediante el que, en el caso del movimiento relativo de la escala y la unidad de exploración, se puede detectar al menos una señal de exploración periódica, que se obtiene a partir de la exploración de un patrón de franjas de Vernier con el periodo de patrón de franjas P en un plano de detección del dispositivo de detección, caracterizado por que la graduación de escala (10.1) o la graduación de exploración (23.1) comprende respectivamente más de dos pistas parciales adyacentes (311.1,....311.9) perpendiculares con respecto a la dirección de medición (x) y las marcas de graduación en cada pista parcial (311.1,....311.9) poseen respectivamente una separación de desplazamiento definida y constante (DeltaVn) de sus posiciones nominales, donde las separaciones de desplazamiento (DeltaVn) de pistas parciales adyacentes (311.1,....311.9) se diferencian entre sí, de modo que mediante las separaciones de desplazamiento (DeltaVn) seleccionadas se produce una filtración de la señal de exploración de fracciones indeseadas de ondas armónicas y se selecciona la separación parcial de desplazamiento DeltaTV k para la filtración de la k-ava onda armónica de acuerdo con DeltaTVk = +/- (1/2*1/k * TPM/2) con k = 2, 3, 5, 7.
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