Komponente zur Einstellung einer scanintegrierten Beleuchtungsenergie in einer Objektebene einer Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Komponente zur Einstellung einer scanintegrierten Beleuchtungsenergie in einer Objektebene einer Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage. Die Komponente umfasst dabei eine Mehrzahl von Blenden, die bezüglich einer zur Scanbewegung senkrechten Richtung nebeneinander angeordnet sind und sich in ihrer Form unterscheiden und deren Position etwa in Scanrichtung veränderbar ist, so dass ein Anteil der Beleuchtungsenergie durch wenigstens eine Blende vignettierbar ist. Die Form der einzelnen Blende ist dabei speziell an die Form der Ausleuchtung in einer Blendebene angepasst, in der die Komponente angeordnet ist. Dies führt dazu, dass zumindest Teile der begrenzenden Kanten zweier Blenden sich bei einer beliebigen Verschiebung der Blenden stets unterscheiden.