| 摘要 |
【課題】放射バーナの作動をモニタリングしかつ制御する改善された技術を提供することにある。【解決手段】製造プロセスツールからの排気ガス流を処理する本発明の放射バーナは、多孔スリーブを備えた燃焼チャンバを有し、燃焼物質が多孔スリーブを通って多孔スリーブの燃焼面に近接して燃焼し、前記燃焼面から放射される赤外線をモニタリングすることにより放射バーナの燃焼性能を測定すべく作動可能な燃焼特性モニタと、該燃焼特性モニタにより測定された燃焼性能に基づいて放射バーナの作動を制御すべく作動できる放射バーナコントローラとを更に有している。【選択図】図２ |
