发明名称 |
一种汞灯灯室的光学特性测试装置及其测试方法 |
摘要 |
本发明提供一种汞灯灯室的光学特性测试装置及其测试方法,属于光学测量领域。汞灯灯室的光学特性测试装置包括:外壳,依次顺序置于外壳里面的小孔光阑、第一聚光镜、第一衰减片、第二聚光镜和四象限探测器,以及定位于外壳中的刀片和准直激光器。本发明所提供测试装置与常规定位装置的结合使用,可以实现对汞灯灯室焦距、焦点功率、焦点光强分布三个光学特性参数测试。 |
申请公布号 |
CN101576436A |
申请公布日期 |
2009.11.11 |
申请号 |
CN200810202281.3 |
申请日期 |
2008.11.05 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
张品翔;胡斌;黄玲 |
分类号 |
G01M11/02(2006.01)I;G01J1/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01M11/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 |
代理人 |
王 洁 |
主权项 |
1.一种汞灯灯室的光学特性测试装置,其特征在于,测试装置包括:外壳,依顺序置于外壳里面的小孔光阑、第一聚光镜、第一衰减片、第二聚光镜和四象限探测器,以及固定于置外壳中的准直激光器;第一聚光镜与第二聚光镜平行放置,第一聚光镜的中心与第二聚光镜的中心之间的连线定位为测试装置的光轴,所述光轴垂直于第一聚光镜与第二聚光镜;第一衰减片置于第一聚光镜与第二聚光镜之间,第一衰减片与第一聚光镜面、第二聚光镜面之间的夹角均为45度;准直激光器垂直于测试装置的光轴,准直激光器的激光投射直线、衰减片以及测试装置的光轴三者交于一点;四象限探测器垂直于测试装置的光轴,四象限探测器的中心定位于测试装置的光轴;小孔光阑垂直于所述光轴,小孔光阑的中心定位于测试装置的光轴。 |
地址 |
201203上海市张江张东路1525号 |