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发明名称 Process of making a device having at least an element made of germanium and device therefor
摘要
申请公布号 EP1732122(A3) 申请公布日期 2009.11.11
申请号 EP20060354016 申请日期 2006.05.23
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE;ST MICROELECTRONICS S.A. 发明人 MORAND, YVES;POIROUX, THIERRY;VINET, MAUD
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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