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发明名称 HIGH ASPECT RATIO ETCH USING MODULATION OF RF POWERS OF VARIOUS FREQUENCIES
摘要
申请公布号 EP1656694(A4) 申请公布日期 2009.11.11
申请号 EP20040780271 申请日期 2004.08.06
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 RUSU, CAMELIA;DHINDSA, RAJINDER;HUDSON, ERIC, A.;SRINIVASAN, MUKUND;LI, LUMIN;KOZAKEVICH, FELIX
分类号 H01L21/00;B23B3/10;H01J37/32;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/467;H05H1/46 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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