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发明名称 ren mit praseodymoxidhaltigen Dielektrikum
摘要
申请公布号 DE102005005229(B4) 申请公布日期 2009.11.05
申请号 DE200510005229 申请日期 2005.01.31
申请人 IHP GMBH - INNOVATIONS FOR HIGH PERFORMANCE MICROELECTRONICS/INSTITUT FUER INNOVATIVE MIKROELEKTRONIK 发明人 MUESSIG, HANS-JOACHIM;LIPPERT, GUNTHER;WENGER, CHRISTIAN;MANE, ANIL U.
分类号 H01L21/311;C23F1/24;C23F1/40;H01L21/336 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
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