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发明名称
APPARATUS FOR DETECTING DEFECT IN DEVICE AND METHOD OF DETECTING DEFECT
摘要
申请公布号
EP1261022(B1)
申请公布日期
2009.11.04
申请号
EP20000905353
申请日期
2000.02.25
申请人
HITACHI, LTD.;HITACHI ULSI SYSTEMS CO.,LTD.
发明人
ISHITANI, TOHRU;KOIKE, HIDEMI;SUGIMOTO, ARITOSHI;SEKIHARA, ISAMU;UMEMURA, KAORU;TOMIMATSU, SATOSHI;AZUMA, JUNZO
分类号
G01R31/302;G01R31/265;G01R31/28;G01R31/303;G01R31/305;G01R31/307;G01R31/311;H01J37/20;H01J37/28
主分类号
G01R31/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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