发明名称 |
NOVEL COPPER(I) PRECURSORS FOR CHEMICAL DEPOSIT IN GAS PHASEOF METALLIC COPPER |
摘要 |
L'invention concerne des complexes de coordination du cuivre à l'état oxydé (+1) stabilisé par un ligand pour la déposition chimique en phase vapeur de cuivre, dans lesquels le cuivre est coordonné à une .beta .- dicétonate et le ligand est un alcyne dont la triple liaison est partiellement désactivée par un ou deux groupements légèrement attracteurs d'électrons portés par ledit alcyne.
|
申请公布号 |
CA2283160(C) |
申请公布日期 |
2009.11.03 |
申请号 |
CA19982283160 |
申请日期 |
1998.03.13 |
申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) |
发明人 |
DOPPELT, PASCAL |
分类号 |
C07F1/08;C07F7/08;C23C16/18;H01L21/285 |
主分类号 |
C07F1/08 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|