发明名称 NOVEL COPPER(I) PRECURSORS FOR CHEMICAL DEPOSIT IN GAS PHASEOF METALLIC COPPER
摘要 L'invention concerne des complexes de coordination du cuivre à l'état oxydé (+1) stabilisé par un ligand pour la déposition chimique en phase vapeur de cuivre, dans lesquels le cuivre est coordonné à une .beta .- dicétonate et le ligand est un alcyne dont la triple liaison est partiellement désactivée par un ou deux groupements légèrement attracteurs d'électrons portés par ledit alcyne.
申请公布号 CA2283160(C) 申请公布日期 2009.11.03
申请号 CA19982283160 申请日期 1998.03.13
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 发明人 DOPPELT, PASCAL
分类号 C07F1/08;C07F7/08;C23C16/18;H01L21/285 主分类号 C07F1/08
代理机构 代理人
主权项
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