发明名称 POSITIVE-WORKING RESIST COMPOSITION AND METHOD FOR RESIST PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号 KR100924248(B1) 申请公布日期 2009.10.30
申请号 KR20077027126 申请日期 2006.04.18
申请人 发明人
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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