| 摘要 |
Изобретение относится к способу и устройству для покрытия стекла методом CVD. Согласно изобретению покрытие осаждают путем подачи части покрывающего материала в покрытие в форме твердых частиц, композиция которых, по существу, является такой же, как композиция покрытия, подлежащего осаждению, и диаметр которых менее 200 нм. |
