聚束极和加速阳极相互位置可调的环形电子枪

摘要

本实用新型公开了一种聚束极和加速阳极相互位置可调的环形电子枪，包括：环形体的电子枪上、下加速阳极支架，分别固定安装在电子束单晶熔炉内的炉体下副室内设定的位置上；一对环形体的电子枪上、下加速阳极，分别固定在电子枪上、下加速阳极支架上，一环形体的聚束极，套设在电子枪上加速阳极外且立于电子枪下加速阳极的上方，聚束极与上加速阳极间形成漂移室；一可发射出电子的阴极钨丝，置于漂移室内，由外接高压电源为其提供加速电压。为避免电子枪各部件因温度过高发生变形或损坏，在电子枪上、下加速阳极和聚束极内开设冷却水管道，其可以改进现有环形电子枪，使得电子枪聚焦性能更好，有效的保证了电子束更好地聚焦在被熔炼的物料上。

主权项

1、一种聚束极和加速阳极相互位置可调的环形电子枪，其特征在于包括：一对环形体的电子枪上、下加速阳极支架，分别上、下固定安装在电子束单晶熔炉内的炉体下副室内设定的位置上；一对环形体的电子枪上、下加速阳极，分别固定在电子枪上、下加速阳极支架上；一环形体的聚束极，套设在电子枪上加速阳极外且立于电子枪下加速阳极的上方，聚束极与上加速阳极间形成漂移室；一可发射出电子的阴极钨丝，置于漂移室内，由外接高压电源为其提供加速电压。