具有聚合物涂层的室部件和制造方法

摘要

处理室部件包括第一表面和第二表面，第一表面在使用中暴露于室中的激励气体，第一表面包括聚对二甲苯涂层，第二表面不暴露于激励气体。可以现场用聚合物涂层涂覆处理室的内表面。可以使用便携式固定器来在处理室中形成聚合物涂层。通过用臭氧和/或氧剥去聚合物，并用聚合物再涂覆还可以对之前涂覆的室部件进行刷新。

主权项

1.一种处理室部件，包括：(a)第一表面，其在使用中暴露于所述室中的激励气体，所述第一表面包括聚对二甲苯涂层；并且(b)第二表面，其在使用中不暴露于所述激励气体，并且不包括所述聚对二甲苯涂层。