发明名称 Si/SiGe optoelectronic integrated circuits
摘要
申请公布号 EP0940854(B1) 申请公布日期 2009.10.28
申请号 EP19990301205 申请日期 1999.02.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHU, JACK OON;ISMAIL, KHALID EZZELDIN;KOESTER, STEVEN JOHN;KLEPSER, BERND-ULRICH H.
分类号 H01L31/0352;H01L27/144;H01L31/10;H01L31/0312 主分类号 H01L31/0352
代理机构 代理人
主权项
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