悬空条型阴极阵列结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种悬空条型阴极阵列结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有控制栅极、碳纳米管以及悬空条型阴极阵列结构；能够充分利用边缘位置发射大量电子的现象，提高了碳纳米管的电子发射效率；在将栅极和阴极高度集成到一起的同时加强了栅极的控制效率和控制功能，有利于进一步提高器件的图像显示质量，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

主权项

1、一种悬空条型阴极阵列结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔、在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层、位于阴极玻璃面板和阳极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，其特征在于：在阴极玻璃面板上有控制栅极、碳纳米管以及悬空条型阴极阵列结构；所述的悬空条型阴极阵列结构包括有衬底材料，也就是阴极玻璃面板，阴极玻璃面板上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层，阴极玻璃面板上的刻蚀后的二氧化硅层形成栅极增高层，栅极增高层中存在一个圆形孔，暴露出底部的阴极引线层，栅极增高层的下表面为一个平面，和阴极玻璃面板相接触，侧面为一个垂直于阴极玻璃面板的平面，栅极增高层的上表面为一个平面，但在圆形孔的边缘位置形成一个向下凹陷、指向圆形孔中心位置的斜坡面，栅极增高层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层，栅极引线层位于栅极增高层的上表面以及斜坡面上，并且部分栅极引线层沿着斜坡面的角度伸向圆形孔中心，呈现悬空状态，栅极引线层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成栅极覆盖层，栅极覆盖层要覆盖住栅极增高层上表面以及斜坡面上的栅极引线层，但不能覆盖处于悬空状态部分的栅极引线层，圆形孔中阴极引线层上面的刻蚀后的掺杂多晶硅层形成阴极增高层，刻蚀后的阴极增高层为一个圆环柱型结构，中间部分也要暴露出底部的阴极引线层，阴极增高层上面的刻蚀后的金属层形成过渡层，过渡层为一个悬空条形结构，即周围为一个圆环形状，悬空于阴极增高层的外围，圆环形状的中间为直条型形状，相互平行排列着，两端和圆环形状相连接，整体过渡层依靠直条型形状位于阴极增高层的上方，碳纳米管制备在过渡层的上面。