| 发明名称 | 一种节能型真空高温感应加热器 | ||
| 摘要 | 一种节能型真空高温感应加热器，用于半导体生产设备，其内腔为真空室的圆柱形筒体的底端固定在底板上而顶端装有可上升打开的顶盖；所述真空室中设有安装在底板上的行星转动机构，它的各转轴顶端分别装有由感应发热材料制成的基片座，该基片座下方设有隔热保温座，下端为敞口而可将所述基片座罩住的感应发热罩外周覆有由非感应发热材料制成的隔热保温层并用拉杆吊装在所述顶盖上，所述圆柱形筒体外周装有电感线圈。它能使基片散热小、加温快，将感应加热线圈放在真空室外，简化了结构，减少了对真空室的污染。 | ||
| 申请公布号 | CN201336740Y | 申请公布日期 | 2009.10.28 |
| 申请号 | CN200820210862.7 | 申请日期 | 2008.12.10 |
| 申请人 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 发明人 | 陈特超;张冬艳 |
| 分类号 | H05B6/02(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I | 主分类号 | H05B6/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 马 强 |
| 主权项 | 1、一种节能型真空高温感应加热器，有内腔为真空室的圆柱形筒体(3)，该圆柱形筒体(3)的底端固定在底板(11)上而顶端装有可上升打开的顶盖(1)，所述真空室中设有安装在底板(11)上的行星转动机构(10)，其特征是，该行星转动机构(10)各转轴的顶端分别装有由感应发热材料制成的基片座(8)，该基片座(8)下方设有隔热保温座(9)，下端为敞口而可将所述基片座(8)罩住的感应发热罩(5)外周覆有由非感应发热材料制成的隔热保温层(4)并用拉杆(2)吊装在所述顶盖(1)上，所述圆柱形筒体(3)外周装有电感线圈(6)。 | ||
| 地址 | 410111湖南省长沙市天心区新开铺1025号 | ||