发明名称 |
泵装置及其泵单元 |
摘要 |
在泵装置中设有:低温平板组(低温部)C,具有在横穿气体流路(4)的方向上隔一定间隔互相平行排列的多个作为低温物体的平板(5);高温平板组(高温部)H,具有在横穿流路(4)的方向上隔一定间隔互相平行排列的多个作为高温物体的平板(6);以及温度操纵单元,至少操纵其中一方平板组的温度以使该平板组之间产生温差。平板(5)和平板(6)在流路(4)的气流方向上错开配置,并且绝热层介于平板(5)和平板(6)之间。 |
申请公布号 |
CN100554681C |
申请公布日期 |
2009.10.28 |
申请号 |
CN200580009548.1 |
申请日期 |
2005.03.23 |
申请人 |
株式会社大阪真空机器制作所 |
发明人 |
杉元宏;曾根良夫;大林哲郎 |
分类号 |
F04B37/06(2006.01)I;F04D33/00(2006.01)I |
主分类号 |
F04B37/06(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
钟 强;关兆辉 |
主权项 |
1.一种泵装置,具有:低温部,具有在横穿气体流路的方向上隔一定间隔排列的多个低温物体;高温部,具有在横穿前述流路的方向上隔一定间隔排列的多个高温物体;以及温度操纵单元,操纵前述低温部或前述高温部中至少一方的温度以使前述高温部的温度比前述低温部高;前述低温物体和高温物体在前述流路的气流方向上错开配置,并且气体构成的绝热层以在该低温物体和高温物体临近的部分上通过这些物体的前端部产生的热尖端流来产生从前述低温部向着前述高温部的气体的单向气流的方式介于前述低温物体和前述高温物体之间。 |
地址 |
日本大阪府 |