具有可配置输送的接近头

摘要

揭露了一种用于处理衬底的装置。该装置包括具有接近头表面的接近头，其能够紧挨着衬底的表面接合。该接近头具有多个能够分配第一处理混合物和第二处理混合物到该衬底的表面的分配端口。该接近头也具有多个能够从该衬底的该表面移除该第一和第二处理混合物的移除端口。该装置还具有连接到该多个用来分配该第一处理混合物和该第二处理混合物的分配集管。该分配集管也连接到多个移除端口，并且被构造为限定所选取的该接近头用于输送和移开该第一处理混合物和第二处理混合物的区域。

主权项

1.一种用于处理衬底的装置，包括：具有表面的接近头，其能够紧挨着衬底的表面接合，该接近头包括：多个能够分配第一处理混合物和第二处理混合物到该衬底的该表面的分配端口，多个能够从该衬底的该表面移除该第一和第二处理混合物的移除端口；以及连接到该多个用来分配该第一处理混合物和该第二处理混合物的分配端口以及连接到该多个移除端口的分配集管，该分配集管构造为限定所选取的该接近头用于输送和移除该第一处理混合物和第二处理混合物的区域。