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发明名称
METHOD OF FORMING Ge MESA STRUCTURE
摘要
申请公布号
KR100923237(B1)
申请公布日期
2009.10.27
申请号
KR20070076321
申请日期
2007.07.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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