| 发明名称 | 导电图案检查装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种导电图案检查装置，可以更简单进行可靠性高的导电图案的状态的检查。导电图案检查装置(10)具有与检查对象图案(14)的一端静电耦合的传感器电极(18)和与全部导电图案(14)的另一端静电耦合的馈电电极(16)。并且，经馈电电极(16)和传感器电极(18)向对象图案施加交流信号，而检测出在电源(20)和传感器电极(18)之间流过的电流值。根据所检测出的电流值检测出有无导电图案的断路和短路。 | ||
| 申请公布号 | CN100552464C | 申请公布日期 | 2009.10.21 |
| 申请号 | CN200410069169.9 | 申请日期 | 2004.07.05 |
| 申请人 | 株式会社东京阴极研究所 | 发明人 | 小原徹;板垣卓男;藤井昌幸 |
| 分类号 | G01R31/02(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京戈程知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程 伟 |
| 主权项 | 1、一种导电图案检查装置，检查在衬底上配置的多个导电图案的状态，其特征在于，包括：一对第一电极，与包含对象图案和该对象图案两侧的导电图案的至少三个以上的导电图案的两端电连接；一对第二电极，为配置在对象图案两侧的导电图案上的一对电极，且分别静电耦合到两侧的导电图案上；第一施加单元，经一对第一电极将第一频率的交流信号施加给导电图案；第二施加单元，经一对第二电极将第二频率的交流信号施加给导电图案；传感器电极，为设置在对象图案上的电极，且静电耦合到对象图案上；电压检测单元，检测出传感器电极的每个频率的电压值；缺陷检测单元，根据所检测出的电压值检测有无断路和短路。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||