对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。其特在于所述的加速度传感器由一个中心对称的质量块、外部支撑框架、质量块与外部支撑框架相连接的八根上下对称直弹性梁结构以及上、下盖板组成。每根直弹性梁的一端连接在与弹性梁平行的质量块顶端或底端侧面，另一端连接到与弹性梁垂直的外部支撑框架内侧面。本发明提供的对称直梁结构电容式加速度传感器可以在显著减小横向效应的同时提高灵敏度，采用微电子机械系统工艺制作，是一种高性能的微机械加速度传感器。

主权项

1、一种对称直梁结构电容式微加速度传感器，包括一个中心对称的质量块、外部支撑框架、质量块与之相连接的直弹性梁以及上、下盖板；其中，(1)质量块由顶端质量块和底端质量块组成，直弹性梁结构由顶端弹性梁和底端弹性梁组成，外部支撑框架由顶端支撑框架和底端支撑框架组成；(2)质量块作为检测电容的可动电极，上、下盖板分别作为检测电容的固定电极位于可动电极的两边；(3)质量块的上、下表面分别与上、下盖板表面相互平行；(4)直弹性梁的一端连接在与其平行的质量块顶端或底端侧面，另一端连接到与其垂直的外部支撑框架内侧面；(5)过载保护限位块分别制作在上盖板的下表面和下盖板的上表面；(6)质量块电极引线金属块位于外部支撑框架上表面的间隙内，上盖板电极引线金属块位于上盖板的上表面，下盖板电极引线金属块位于下盖板的下表面；其特征在于(1)质量块和上、下盖板之间的间隙在1～10μm之间；(2)质量块电极引线金属块在电极引出槽正下方的外部支撑框架的上表面的电极引出间隙内，质量块的电极引线金属块与上、下盖板之间是通过绝缘层实现电绝缘。