铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪光源同步悬臂

摘要

铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪光源同步悬臂，其包括连接臂、上悬臂、下悬臂，上悬臂通过连接臂与下悬臂相连，上悬臂与下悬臂相互平行，上悬臂上设有用于与机器人Y轴滑块和微调装置底板固定的F形固定器；上悬臂和下悬臂两侧安装有加强板；下悬臂与CCD成像系统相应的位置设有光源固定块，所述光源固定块上设有光源位置限定螺钉；下悬臂靠近右端处设有用于安装另一光源的直线滑轨，所述直线滑轨上也设有光源固定块，所述光源固定块上也设有光源位置限定螺钉；下悬臂最右端设有限位块。本实用新型同步悬臂移动距离长，且可有效防止光源在移动中的抖动，具有光源位置调整功能，制造成本低。

主权项

1、一种铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪光源同步悬臂，包括连接臂杆、上悬臂、下悬臂，上悬臂通过连接臂杆与下悬臂相连，其特征在于，上悬臂与下悬臂相互平行，上悬臂上设有用于与机器人Y轴滑块和微调装置底板固定的F形固定器；上悬臂和下悬臂两侧安装有加强板；下悬臂与CCD成像系统相应的位置设有光源固定块，所述光源固定块上设有光源位置限定螺钉；下悬臂靠近右端处设有用于安装另一光源的直线滑轨，所述直线滑轨上也设有光源固定块，所述光源固定块上也设有光源位置限定螺钉；下悬臂最右端设有限位块。