自动化制程切换装置与方法

摘要

一种自动化制程切换装置，系用以于半导体制程中依据一切换要求，而将一批货(1ot)由一第一制程切换至一第二制程，并自动化地完成该批货的该第二制程。切换装置至少包含一资料单元和一控制单元。资料单元系用以储存一相关资讯。控制单元系用以基于相关资讯而对切换要求做出回应，并透过一传输系统而将批货由第一制程切换至适当的第二制程。

主权项

一种自动化制程切换系统，系用以于半导体制程中将一批货(lot)由一第一制程切换至一第二制程，并自动化地完成该批货的该第二制程，该系统至少包含：一切换装置，该切换装置系用以接收一切换要求后，而将该批货(lot)由该第一制程切换至该第二制程，该切换装置至少包含：一资料单元，该资料单元系用以储存一相关资讯；一控制单元，该控制单元系用以基于该切换要求，而读取该资料单元中的该相关资讯，并产生一回应该切换要求的一切换命令；以及一动态资料库，该动态资料库系用以储存由于该控制单元接收该切换要求而动态建立该第一制程与该第二制程之间的一动态连结关系；以及一传输系统，该传输系统系用以基于该切换命令而将该批货由该第一制程切换至适当的该第二制程。